Подавляющее большинство не имеет размера, но есть несколько исключений, которые вы можете увидеть с помощью
find /proc -type f \! -empty -ls 2>/dev/null
Это /proc/kcore
и различные файлы PCI.
См. /proc/config.gz имеет размер 0 байт и Что происходит, когда я запускаю команду cat /proc/cpuinfo? для получения соответствующей информации.