Следует использовать RemainAfterExit=no

   RemainAfterExit=
       Takes a boolean value that specifies whether the service shall be considered active even when all its processes exited. Defaults to no.

 ● ilogtaild.service - SYSV: ilogtail is log collect agent of Simple Log Service
   Loaded: loaded (/etc/rc.d/init.d/ilogtaild; static; vendor preset: disabled)
…
     Docs: man:systemd-sysv-generator(8)

Вы не используете явно написанный сервисный модуль systemd. Вы используете модуль, сгенерированный systemd-sysv-generatorиз скрипта van Smoorenburg rc, в котором отсутствует информация заголовка LSB. systemd-sysv-generatorиспользует единый -размер -подходит -для всех подходов, модифицированный некоторыми догадками. van Smoorenburg rcмогут запускаться или не запускаться длительные -запущенные демонические процессы, могут использоваться или не использоваться файлы PID и т.д. systemd-sysv-generatorпытается сгенерировать сервисные единицы, которые учитывают эти возможности.

Автоматически -сгенерированные сервисные единицы имеют RemainAfterExit=falseили RemainAfterExit=trueв зависимости от того, указывает ли информация заголовка в сценарии ван Смуренбурга rcфайл PID. (Если это имя файла PID, RemainAfterExitравно false.)

Так:

• В краткосрочной перспективе ваш /etc/rc.d/init.d/ilogtaildдолжен назвать PID-файл с заголовком RedHat pidfile:. В противном случае systemd будет по-прежнему считать, что это скрипт ван Смуренбурга rc, который не обязательно оставит после себя -длительный запущенный процесс-демон.
• В долгосрочной перспективе вам следует прекратить использовать /etc/rc.d/init.d/ilogtaildи перестать полагаться на systemd-sysv-generatorдля переноса его в одноразовые сервисные единицы.

Дополнительная литература

• https://unix.stackexchange.com/a/233581/5132
• Красная шляпа (1998 ).Написание сценариев инициализации System V для Red Hat Linux .